共聚焦顯微鏡使用技術開發的光學輪廓儀，其共聚焦部分的主要優點是有著*發光效率的照明硬件和高對比度算法。這些特點使系統成為測量有著陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有異種材料樣品的理想設備。高品質干涉光學系統和集成壓電掃描器是干涉輪廓儀部分的關鍵。這項技術對于測量非常光滑至適度粗糙的表面比較理想。這些技術的組合為輪廓儀提供了無限寬廣的應用領域。

 

　　光譜反射法是薄膜測量的方法之一，因為它、無損、迅速且無需制備樣品。測量時，白光照射到樣品表面，并將在膜層中的不同界面反射，并發生干涉和疊加效應。結果，反射光強度將顯示出波長變化，這種變化取決于薄膜結構不同層面的厚度和折射率。軟件將測得的真實光譜同模擬光譜進行比較擬合，并不斷優化厚度值，直到實現標準匹配。

 

　　光學測量法檢測粗糙度，單件產品測量時間僅零點幾秒，可以實現在線全檢。測量精度及重復性是普通進口產品的3倍以上。密封式設計，結構堅固可靠。激光粗糙度儀適宜于惡劣現場環境中常年使用。無觸針等易損件更換。一次投資，使用。對于一定的工藝過程，儀器僅標定一次。無重復標定費用。手持式小巧結構，非接觸式測量，不會導致被測件變形及損壞。同時，測量結果不受被測件震動影響。由于取消傳統探針觸頭接觸式結構,對于表面波紋度較低試件，測量結果同工藝性能具有好的相關性。